芯片制造工艺流程图中有哪些关键设备?

芯片制造工艺流程图中关键设备包括：

1. 芯片设计器
2. 设计规则库
3. 布局设计器
4. 布线工具
5. 芯片制造设备
6. 测试设备

除了以上设备，还需要考虑其他设备，例如：

• 材料供应设备
• 储存设备
• 测试设备
• 安全设备

芯片制造工艺流程图中每个设备的作用以及它们之间的关系关系非常重要，需要仔细地分析才能完全理解芯片制造工艺流程图。